压阻式传感器原理
压阻式传感器是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料受力后,电阻率发生变化,通过测量电路可以得到与力变化成正比的电信号输出。压阻式传感器用于压力、张力、压差和其他可以转化为力的变化的物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量和真空)的测量和控制。
压阻式传感器是基于半导体材料的压阻效应,在半导体材料基板上通过扩散电阻制成的器件。基板可直接用作测量传感器元件,扩散电阻在基板中以桥的形式连接。当基板受外力变形时,电阻值会发生变化,电桥会产生相应的不平衡输出。用作压阻传感器的基板(或隔膜)材料主要是硅片和锗片。以硅片为敏感材料制成的硅压阻传感器越来越受到人们的关注,尤其是在压力测量方面。固态压阻式传感器以速度和速度的应用最为普遍。